M7163
平面磨床導軌設計。導軌是M7163
平面磨床上保證實現(xiàn)精密微量進給的重要要素之一，雖有多種形式可供選擇，但
M7163平面磨床廠家采用得最為廣泛的是M7163平面磨床液體靜壓導軌和M
7163平面磨床氣浮導軌。前者的剛度可達6KN~8KN/µm，并能保證M7163平面磨床位移精度0.02µm~0.04µm/400mm行程；後者的剛度為1KN~2KN/µm，當氣膜厚度為4µm~8µm時，也能保證與M7163平面磨床液體靜壓導軌一樣的位移精度。M7163平面磨床液體靜壓和氣浮導軌的直線性均可高達0.02µm/100mm。
M7163平面磨床廠家在總體布局設計上，M7163平面磨床的結構應分成承載部分和計量部分。此時，M7163平面磨床廠家所能實現(xiàn)的精度在很大程度上取決于測量M7163平面磨床系統(tǒng)的有效性。因此，M7163平面磨床廠家采用像激光干涉儀這樣的高精度、高分辨率的儀器作測量裝置，并將其單獨安裝在M7163平面磨床氣浮支承的計量支架上，而且不僅安裝測量M7163平面磨床裝置時要遵守阿貝原理，在更廣義理解上，也要遵守阿貝原理。阿貝原理要求，測量M7163平面磨床軸要接近于刀尖，以便消除按杠桿原理放大誤差的可能性。從這一立場出發(fā)，M7163平面磨床導軌和測量M7163平面磨床裝置應位于同一水平面上，在M7163平面磨床的承載系統(tǒng)中要避開采用懸伸和剛度不恒定的構件。 在M7163平面磨床整體和M7163平面磨床各部件所完成的功能分配方面，在多數(shù)情況下，一臺M7163平面磨床只實現(xiàn)一種加工方法，每個部件也只完成一個固定的功能運動。這樣做的目的是簡化M7163平面磨床結構和更易于根據(jù)精度指標進行優(yōu)化，而M7163平面磨床廠家無需采取妥協(xié)（折衷）的辦法。――這一點是與目前一般M7163平面磨床的設計發(fā)展趨勢――復合化，擴大工藝可能性――是不一樣的，或者說是正好相反的。
M7163平面磨床廠家為了保證超精密加工的目標順利實現(xiàn)，M7163平面磨床廠家設計必須考慮采用主動控制的隔振系統(tǒng)和在線的誤差自動補償技術。這是因為很難保證M7163平面磨床所要求的零件制造精度，同時也很難完全消除振動和熱因素帶來的負面影響。
